Verfahren zur Plasmaätzung von Übergangsmetalloxiden
EP2115187
Art A1
11. November 2009
Anmelder: SanDisk 3D LLC, Sandisk 3D LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2115187
- Aktenzeichen
- EP08726277
- Anmeldetag
- 29. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 11. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/3213C23F1/00H01B13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SanDisk 3D LLC
Sandisk 3D LLC - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
SanDisk 3D
SanDisk 3D war eine auf dreidimensionale Speichertechnologien spezialisierte Tochtergesellschaft von SanDisk, heute Teil von Western Digital. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiterbauelemente sowie Akustik- und Datenspeichertechnik. Die Anmeldungen aus 2001 bis 2014 betreffen unter anderem vertikale Feldeffekttransistoren und 1T-1R-Speicherzellen.
308 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hitchcock, Esmond Antony
London, Großbritannien
700
Patente gesamt
32
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte