Lampe für eine Kammer für Schnelles Thermisches Verfahren

EP2115372 Art B1 14. Februar 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2115372
Aktenzeichen: EP08729823
Anmeldetag: 14. Februar 2008
Veröffentlichung: 14. Februar 2018
Erteilung: 14. Februar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01K1/28H01K1/32H01K1/46H01K1/58H01K7/00// H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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