Beleuchtungssystem einer Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP2115522
Art B1
18. April 2012
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2115522
- Aktenzeichen
- EP07820745
- Anmeldetag
- 1. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 18. April 2012
- Erteilung
- 18. April 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/28G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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