Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung von Mehrfachspiegelanordnungen in einem Beleuchtungssystem einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
EP2115535
Art B9
9. Januar 2013
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2115535
- Aktenzeichen
- EP08715697
- Anmeldetag
- 6. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 9. Januar 2013
- Erteilung
- 9. Januar 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B26/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schwanhäusser, Gernot
Stuttgart, Deutschland
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