Mehrschichtiges und Reflektierendes Optisches Element für Euv-Lithographievorrichtungen mit einer Ersten und einer Zweiten Zusatzzwischenschicht
EP2115751
Art B1
27. Mai 2015
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2115751
- Aktenzeichen
- EP08715682
- Anmeldetag
- 2. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 27. Mai 2015
- Erteilung
- 27. Mai 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Werner, Anne-Estelle
Münster, Deutschland
19
Patente gesamt
13
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Werner & ten Brink
Werner & ten Brink · Münster