Verfahren zum Bonden Zweier Substrate

EP2115768 Art B1 14. November 2012

Anmelder: Soitec, S.O.I. TEC Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2115768
Aktenzeichen
EP07847300
Anmeldetag
23. November 2007
Veröffentlichung
14. November 2012
Erteilung
14. November 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I. TEC Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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