Lichtbogenverdampfungsquelle

EP2116630 Art B1 25. September 2013

Anmelder: Kabushiki Kaisha Riken, Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2116630
Aktenzeichen
EP08711336
Anmeldetag
15. Februar 2008
Veröffentlichung
25. September 2013
Erteilung
25. September 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Kabushiki Kaisha Riken
Nissin Electric Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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