Lichtbogenverdampfungsquelle
EP2116630
Art B1
25. September 2013
Anmelder: Kabushiki Kaisha Riken, Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2116630
- Aktenzeichen
- EP08711336
- Anmeldetag
- 15. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 25. September 2013
- Erteilung
- 25. September 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kabushiki Kaisha Riken
Nissin Electric Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nissin Electric
Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.
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