Porogene, porogenhaltige Vorstufe und Verfahren zur Verwendung derselben zur Bereitstellung von porösen Organosilikatglasschichten mit niedriger Dielektrizitätskonstante

EP2116632 Art A3 25. August 2010

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2116632
Aktenzeichen: EP09159354
Anmeldetag: 4. Mai 2009
Veröffentlichung: 25. August 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/56H01L21/316C03C3/04C23C16/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Air Products and Chemicals, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von