Herstellung eines Metalloxiddünnfilms mittels zyklischem CVD oder ALD

EP2116633 Art B1 19. Juni 2013

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2116633
Aktenzeichen: EP09005251
Anmeldetag: 9. April 2009
Veröffentlichung: 19. Juni 2013
Erteilung: 19. Juni 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Air Products and Chemicals, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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