Mehrspalten-Elektronenstrahlbelichtungsanordnungen und -Verfahren
EP2117035
Art B1
14. Juni 2017
Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2117035
- Aktenzeichen
- EP07737688
- Anmeldetag
- 2. März 2007
- Veröffentlichung
- 14. Juni 2017
- Erteilung
- 14. Juni 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027H01J37/317G03F1/20B82Y10/00B82Y40/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Advantest Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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Kanzlei
Tetzner & Partner mbB
München, Deutschland
Tetzner & Partner mbB ist eine Münchner Patent- und Rechtsanwaltskanzlei, die seit 1962 zu Patentrecht, Markenrecht und weiteren Bereichen des gewerblichen Rechtsschutzes berät und Mandanten als European Patent and Trademark Attorney vertritt.
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