Herstellungsverfahren von Lufthohlräumen in Mikrostrukturen, insbesondere vom Typ Lufthohlraum-Verbindungsstrukturen für integrierten Schaltkreis
EP2117042
Art A1
11. November 2009
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2117042
- Aktenzeichen
- EP09159385
- Anmeldetag
- 5. Mai 2009
- Veröffentlichung
- 11. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Vertreten von
Ilgart, Jean-Christophe
Paris, Frankreich
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