Beschichtungsvorrichtung mit Isolierung

EP2119813 Art A1 18. November 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2119813
Aktenzeichen
EP08156389
Anmeldetag
16. Mai 2008
Veröffentlichung
18. November 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C26/00B05D1/26B65H18/02B65H18/10C23C14/04C23C14/20C23C14/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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