Lokalisiertes Mikrowellenquellenarraypumpen zur Steuerung des Lokalisierten Partialdrucks bei Flachen und Dreidimensionalen Pecvd-Beschichtungen
EP2121816
Art A1
25. November 2009
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2121816
- Aktenzeichen
- EP07710482
- Anmeldetag
- 15. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 25. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C08J7/06
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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