Reinigungssystem für einen Substratbehälter
EP2122014
Art A2
25. November 2009
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2122014
- Aktenzeichen
- EP08731042
- Anmeldetag
- 28. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 25. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C25F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Bumke, Jakob Wenzel
Cheddar, Großbritannien
271
Patente gesamt
29
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Pearson, James Ginn
NoneLondon