Verfahren zur Herstellung von Facettenspiegeln und Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP2122393
Art B1
3. April 2013
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2122393
- Aktenzeichen
- EP08707756
- Anmeldetag
- 18. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 3. April 2013
- Erteilung
- 3. April 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/09G03F7/20G02B7/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Raunecker Patent
Ulm, Deutschland
Raunecker Patent ist eine Patentanwälte-Partnerschaft mit Hauptsitz in Ulm und Standorten in München und Markdorf, die beim Schutz technischer Erfindungen, bei Patent-, Marken- und Designanmeldungen sowie bei Markenüberwachung und Lizenzvereinbarungen begleitet.
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