Optisches Integratorsystem, Optisches Beleuchtungsgerät, Belichtungsgerät und Geräteherstellungsverfahren
EP2122408
Art A1
25. November 2009
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2122408
- Aktenzeichen
- EP08722533
- Anmeldetag
- 13. März 2008
- Veröffentlichung
- 25. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/09G03F7/20G02B5/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München