Optisches Integratorsystem, Optisches Beleuchtungsgerät, Belichtungsgerät und Geräteherstellungsverfahren

EP2122408 Art A1 25. November 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2122408
Aktenzeichen
EP08722533
Anmeldetag
13. März 2008
Veröffentlichung
25. November 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G02B27/09G03F7/20G02B5/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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