Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Gruppe-Iii-Nitrid
EP2123801
Art A1
25. November 2009
Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2123801
- Aktenzeichen
- EP07792325
- Anmeldetag
- 3. August 2007
- Veröffentlichung
- 25. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C30B29/38C23C16/34C23C16/455C30B25/14H01L21/205C30B25/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokuyama Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokuyama
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.
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Vertreten von
Albrecht, Thomas
München, Deutschland
2.528
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