Verwendung von Spektren zur Bestimmung von Polierendpunkten

EP2125291 Art A2 2. Dezember 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2125291
Aktenzeichen: EP08730580
Anmeldetag: 22. Februar 2008
Veröffentlichung: 2. Dezember 2009
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/013B24B49/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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