Verfahren zur Verbesserung von Bildgebungseigenschaften eines Optischen Systems und Optisches System

EP2126635 Art B1 18. April 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2126635
Aktenzeichen: EP08707189
Anmeldetag: 22. Januar 2008
Veröffentlichung: 18. April 2012
Erteilung: 18. April 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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