Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Siliciumsubstrats
EP2128088
Art B1
29. Mai 2013
Anmelder: Kojima, Gen, Yokoyama, Hiroshi, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2128088
- Aktenzeichen
- EP08703609
- Anmeldetag
- 22. Januar 2008
- Veröffentlichung
- 29. Mai 2013
- Erteilung
- 29. Mai 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C01B33/02C30B29/06H01L31/04C30B11/00C30B15/00C30B15/30H01L31/18C30B28/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kojima, Gen
Yokoyama, Hiroshi
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
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Vertreten von
Hall, Matthew Benjamin
London, Großbritannien
1.167
Patente gesamt
31
Fachgebiete
19
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Schwerpunkte