Anordnung zur Beschichtung eines Substrats

EP2128303 Art B1 13. März 2013

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2128303
Aktenzeichen
EP08009926
Anmeldetag
30. Mai 2008
Veröffentlichung
13. März 2013
Erteilung
13. März 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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