Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines metallischen Films
EP2128304
Art A1
2. Dezember 2009
Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2128304
- Aktenzeichen
- EP09010337
- Anmeldetag
- 29. Januar 2003
- Veröffentlichung
- 2. Dezember 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/14C23C16/448C23C16/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Anelva Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon Anelva
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
421 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Musker, David Charles
London, Großbritannien
345
Patente gesamt
27
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte