Prozess zum Herstellen eines Laminierten Substrats

EP2128891 Art B1 2. September 2015

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2128891
Aktenzeichen
EP07737557
Anmeldetag
28. Februar 2007
Veröffentlichung
2. September 2015
Erteilung
2. September 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L27/12H01L21/762H01L31/18H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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