Verfahren zur Abbildung der Strahlung eines Objekts auf einer Detektorvorrichtung und Inspektionsvorrichtung zur Inspektion eines Objekts
EP2130030
Art B1
24. November 2010
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2130030
- Aktenzeichen
- EP08723915
- Anmeldetag
- 21. März 2008
- Veröffentlichung
- 24. November 2010
- Erteilung
- 24. November 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/94G01N21/88G01N21/956G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
Raukema, Age
Veldhoven, Niederlande
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