Installation einer Kontinuierlichen Beschichtung und Verfahren zum Herstellen von Kristallinen Dünnfilmen

EP2130234 Art B1 29. Oktober 2014

Anmelder: Carl Zeiss Laser Optics GmbH, Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2130234
Aktenzeichen: EP08707800
Anmeldetag: 25. Februar 2008
Veröffentlichung: 29. Oktober 2014
Erteilung: 29. Oktober 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/18C23C14/18C23C14/30C23C14/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss Laser Optics GmbH
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von