Anordnung und Verfahren zum Entfernen von Alkali- oder Alkaline-Erdmetallen aus einer Vakuumbeschichtungskammer

EP2130940 Art B1 5. April 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2130940
Aktenzeichen
EP08009925
Anmeldetag
30. Mai 2008
Veröffentlichung
5. April 2017
Erteilung
5. April 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/24
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Schickedanz, Willi Offenbach, Deutschland
167
Patente gesamt
27
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Hochbau & Gebäudetechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektrische Energietechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
Zum Anwaltsprofil
Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen