Siliziumscheibe mit Epischicht und Herstellungsverfahren dafür

EP2130953 Art A3 23. Februar 2011

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2130953
Aktenzeichen: EP09007408
Anmeldetag: 4. Juni 2009
Veröffentlichung: 23. Februar 2011
Rechtsraum: EP
IPC: C30B15/02C30B25/02C30B29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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