Wässrige Dispersion zum Chemisch-Mechanischen Polieren und Verfahren zum Chemisch-Mechanischen Polieren für eine Halbleiteranordnung

EP2131389 Art A1 9. Dezember 2009

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2131389
Aktenzeichen: EP08711609
Anmeldetag: 20. Februar 2008
Veröffentlichung: 9. Dezember 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3105C09G1/02C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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