Verstärkung für Trägerplatte einer Pecvd-Prozesskammer

EP2132356 Art A2 16. Dezember 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2132356
Aktenzeichen: EP08730880
Anmeldetag: 27. Februar 2008
Veröffentlichung: 16. Dezember 2009
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/00H01J37/32C23C14/54C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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