Verfahren zur Bildung eines auf Ruthenium Basierenden Films auf einem Substrat

EP2132357 Art B1 29. März 2017

Anmelder: L'Air Liquide - Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'air Liquide-societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2132357
Aktenzeichen
EP08710125
Anmeldetag
21. Februar 2008
Veröffentlichung
29. März 2017
Erteilung
29. März 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/06C23C16/40C23C16/448
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
L'Air Liquide - Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'air Liquide-societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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