Nahfeldkopf mit Gewinkeltem Vakuumleitungssystem sowie Entsprechende Vorrichtung und Entsprechendes Verfahren
EP2132767
Art A1
16. Dezember 2009
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2132767
- Aktenzeichen
- EP08726002
- Anmeldetag
- 22. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 16. Dezember 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Walker, Ross Thomson
Forresters IP LLP · München
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Wombwell, Francis
NoneBirkenhead