Verfahren zur kosteneffizienten Herstellung von Diamentspitzen für ultrahochauflösende elektrische Messungen

EP2133883 Art B1 22. Januar 2020

Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2133883
Aktenzeichen: EP09075263
Anmeldetag: 11. Juni 2009
Veröffentlichung: 22. Januar 2020
Erteilung: 22. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q60/30G01Q60/40G01Q70/10G01Q70/14G01Q70/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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