Polykristalline Silizium Dünnschichten hergestellt durch Titan-unterstützten Metall-induzierten Schichtaustausch
EP2133907
Art B1
18. Juni 2014
Anmelder: Dritte Patentportfolio Beteiligungsgesellschaft mbH & Co. KG, Technische Universität München 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2133907
- Aktenzeichen
- EP08157885
- Anmeldetag
- 9. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 18. Juni 2014
- Erteilung
- 18. Juni 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Dritte Patentportfolio Beteiligungsgesellschaft mbH & Co. KG
Technische Universität München - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
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Deutsche technische Universität mit Sitz in München, betreibt Forschung und Lehre in Ingenieur-, Natur- und Lebenswissenschaften sowie Medizin.
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