Verfahren zur Herstellung von Flächigen Grössen- oder Abstandsvariationen in Mustern von Nanostrukturen auf Oberflächen
EP2134886
Art B1
2. März 2011
Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., Ruprecht-Karls-Universität Heidelberg 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2134886
- Aktenzeichen
- EP08716484
- Anmeldetag
- 12. März 2008
- Veröffentlichung
- 2. März 2011
- Erteilung
- 2. März 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C18/08C23C18/12C23C18/14G02B1/12G02B3/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Ruprecht-Karls-Universität Heidelberg - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Max-Planck-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.
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