Verfahren zur Präzisionsbearbeitung von Substraten und dessen Verwendung
EP2134887
Art B1
18. Mai 2011
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2134887
- Aktenzeichen
- EP08716322
- Anmeldetag
- 6. März 2008
- Veröffentlichung
- 18. Mai 2011
- Erteilung
- 18. Mai 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C18/16C25D5/02C25D7/12H01L21/288
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
716 Patente in unserer Datenbank
🇩🇪
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Deutsche Universität in Freiburg im Breisgau mit Forschung und Lehre in zahlreichen Fachbereichen, darunter Naturwissenschaften, Medizin und Mikrosystemtechnik.
533 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Riepe, Hans-Gerd
München, Deutschland
33
Patente gesamt
13
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte