Aminstoppende Zusätze für in Photolithographischen Verfahren Verwendete Materialien

EP2135275 Art B1 1. Juni 2016

Anmelder: Brewer Science Inc., Brewer Science, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2135275
Aktenzeichen
EP08799687
Anmeldetag
11. März 2008
Veröffentlichung
1. Juni 2016
Erteilung
1. Juni 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/4763C08G18/80H01L21/027H01L21/31G03F7/09G03F7/11
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Brewer Science Inc.
Brewer Science, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
van Heesch, Helmut Werner Hamburg, Deutschland
25
Patente gesamt
12
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Kunststoff- & Polymertechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Organische Chemie Optik & Fototechnik Medizintechnik & Gesundheit Verfahrens- & Trenntechnik
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