Verfahren und Vorrichtung zur Präzisionsbearbeitung von Substraten mittels eines in einen Flüssigkeitsstrahl eingekoppelten Laser und dessen Verwendung

EP2135704 Art A1 23. Dezember 2009

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Albert-Ludwigs-Universität Freiburg 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2135704
Aktenzeichen: EP09011934
Anmeldetag: 25. Januar 2007
Veröffentlichung: 23. Dezember 2009
Rechtsraum: EP
IPC: B23K26/14B23K26/40H01L21/24

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

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Fachgebiete

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