Verfahren zur Synthese eines Ito-Elektronenstrahlresists und Verfahren zur Bildung eines Ito-Musters damit

EP2137110 Art B1 22. Mai 2013

Anmelder: Electronics and Telecommunications Research Institute 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2137110
Aktenzeichen: EP08723588
Anmeldetag: 19. März 2008
Veröffentlichung: 22. Mai 2013
Erteilung: 22. Mai 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C01G19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electronics and Telecommunications Research Institute
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 ETRI (Electronics and Telecommunications Research Institute)

Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon. Forscht in Telekommunikation, Halbleitertechnik, künstlicher Intelligenz, Rundfunktechnik und Informations- und Kommunikationstechnologien.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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