Kapazitätsmanometer und Verfahren in Zusammenhang mit Automatischer Driftkorrektur
EP2137505
Art B1
29. August 2012
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2137505
- Aktenzeichen
- EP08745571
- Anmeldetag
- 11. April 2008
- Veröffentlichung
- 29. August 2012
- Erteilung
- 29. August 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/12G01L27/00G01L9/00G01L19/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Vertreten von
Rickard, David John
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