Drucksteuerung für Vakuumbearbeitungssystem
EP2137586
Art B1
8. Mai 2013
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2137586
- Aktenzeichen
- EP08731208
- Anmeldetag
- 3. März 2008
- Veröffentlichung
- 8. Mai 2013
- Erteilung
- 8. Mai 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D16/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Sharples, Andrew John
London, Großbritannien
118
Patente gesamt
17
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Rickard, David John
NoneLondon
-
Hill, Justin John
NoneLondon