Verfahren zum Herstellen eines Hybridsubstrats

EP2137755 Art A2 30. Dezember 2009

Anmelder: Soitec, S.O.I. TEC Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2137755
Aktenzeichen
EP08719275
Anmeldetag
26. Februar 2008
Veröffentlichung
30. Dezember 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/18H01L21/265
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I. TEC Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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