Schichtenzusammensetzung mit einer Pyrogenen Zinkoxidschicht und Feldeffekttransistor mit Dieser Zusammensetzung

EP2137758 Art A1 30. Dezember 2009

Anmelder: Evonik Degussa GmbH, Karlsruher Institut für Technologie 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2137758
Aktenzeichen: EP08717567
Anmeldetag: 10. März 2008
Veröffentlichung: 30. Dezember 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3205C01G9/03H01L21/336H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Evonik Degussa GmbH
Karlsruher Institut für Technologie
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Karlsruher Institut für Technologie

Deutsche Universität und Forschungseinrichtung in Karlsruhe, entstanden aus Fusion von Universität und Großforschungszentrum, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur- und Technikwissenschaften.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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