Verwendung von Oxidationsmitteln zum Verarbeiten von Halbleiterwafern, und Zusammensetzung dafür
EP2137759
Art B1
20. Februar 2019
Anmelder: SOLVAY SA, SOLVAY (Société Anonyme) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2137759
- Aktenzeichen
- EP08736152
- Anmeldetag
- 11. April 2008
- Veröffentlichung
- 20. Februar 2019
- Erteilung
- 20. Februar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/321H01L21/02C09G1/02C11D3/39C11D11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SOLVAY SA
SOLVAY (Société Anonyme) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
Solvay
Belgischer Chemiekonzern mit Sitz in Brüssel, tätig in den Bereichen Spezialchemikalien, Materialien und Kunststoffe für Industrie und Konsumgüter. Das Unternehmen wurde 1863 gegründet.
1.433 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Mross, Stefan P.M
Bruxelles, Belgien
294
Patente gesamt
21
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Vande Gucht, Anne
NoneBruxelles