Verfahren und Vorrichtung zur Stabilisierung und Abstimmung der Bandbreite von Laserlicht

EP2137798 Art A2 30. Dezember 2009

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. (A Nevada Corporation) 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2137798
Aktenzeichen: EP08742695
Anmeldetag: 9. April 2008
Veröffentlichung: 30. Dezember 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/22G02B27/64H01S3/1055H01S3/137H01S3/139H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc. (A Nevada Corporation)
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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