Verfahren zum Herstellen einer MEMS-Struktur mit einem beweglichen Element durch die Anwendung einer heterogenen Opferschicht
EP2138455
Art B1
9. Juli 2014
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'Energie Atomique 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2138455
- Aktenzeichen
- EP09354023
- Anmeldetag
- 4. Juni 2009
- Veröffentlichung
- 9. Juli 2014
- Erteilung
- 9. Juli 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'Energie Atomique - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
8.392 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hecké, Gérard
Grenoble, Frankreich
573
Patente gesamt
30
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte