Filmablagerungsvorrichtung, Filmablagerungsverfahren und computerlesbares Speichermedium

EP2138604 Art B1 27. März 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2138604
Aktenzeichen: EP09163736
Anmeldetag: 25. Juni 2009
Veröffentlichung: 27. März 2013
Erteilung: 27. März 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von