Leitfähiger Antireflexfilm, Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur

EP2138897 Art B1 3. August 2016

Anmelder: Fujitsu Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2138897
Aktenzeichen
EP07739108
Anmeldetag
20. März 2007
Veröffentlichung
3. August 2016
Erteilung
3. August 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/11C09D5/24C09D201/00G02B1/11H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujitsu Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujitsu

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