Verfahren zur Strukturbildung und Verwendung einer Fotolackzusammensetzung in diesem Verfahren

EP2138898 Art B1 21. Mai 2014

Anmelder: FUJIFILM Corporation, Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2138898
Aktenzeichen: EP08740284
Anmeldetag: 11. April 2008
Veröffentlichung: 21. Mai 2014
Erteilung: 21. Mai 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/30G03F7/038G03F7/039G03F7/32H01L21/027// G03F7/004G03F7/20G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: FUJIFILM Corporation
Fujifilm Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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