Plattendrehvorrichtung, Vorrichtung zur Änderung des Auslasswegöffnungsgrads, Auslassvorrichtung, Übertragungsvorrichtung, Trägervorrichtung und Schieber

EP2140186 Art A2 6. Januar 2010

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2140186
Aktenzeichen
EP08740959
Anmeldetag
22. April 2008
Veröffentlichung
6. Januar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
F16K31/06F16K31/04F16K3/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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