Messinstrument und Verfahren
EP2140241
Art A1
6. Januar 2010
Anmelder: MKS Instruments, Inc., Brooks Automation, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2140241
- Aktenzeichen
- EP08743228
- Anmeldetag
- 24. April 2008
- Veröffentlichung
- 6. Januar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01D3/024G01L11/00G01L15/00G01N9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
Brooks Automation, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schmit, Christian Norbert Marie
Cergy, Frankreich
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Ipside
Ipside · Bordeaux